集成系統(tǒng)將線性或 XY 平臺與轉(zhuǎn)臺相結(jié)合，提供交鑰匙解決方案。平臺可配備直接驅(qū)動直線電機或基于滾珠絲杠的機械裝置。

升降-旋轉(zhuǎn)臺為輕型到中等有效載荷提供準(zhǔn)確且獨立的旋轉(zhuǎn)和垂直平移。該平臺結(jié)合了 LSZ-12W 垂直平臺和 PSR150-30 轉(zhuǎn)臺，外形非常緊湊，適用于空間受限的應(yīng)用。

升降 Z 臺LSZ12W

升降行程：12 mm

重復(fù)性：± 2µm

分辨率：1 µm

上升有效載荷：10 kg

上升力速度：25 mm/sec

機械：滾珠絲杠/楔形

電機：伺服

旋轉(zhuǎn)臺 PSR150-30

回轉(zhuǎn)：無限制

重復(fù)性：± 2 arc-sec

分辨率：± 2 arc-sec

扭矩：6 Nm

角速度：180轉(zhuǎn)

機械：直接驅(qū)動

電機：伺服